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SPS装置は、縦1軸の加圧機構を有する焼結機本体と水冷却部内蔵の特殊通電機構、水冷真空チャンバー、雰囲気制御機構、真空排気装置、特殊DCパルス電源、集中操作制御盤などによって構成されています。被加工粉体を充填したダイ・パンチ型をチャンバー内の焼結ステージ上にセットして電極で挟み、加圧しながらパルス通電を行うと、数分以内で室温より一気に1000〜2500℃へ急速昇温、数分の短時間で高品位の焼結体を得ることができます。

 

真空チャンバー内部

SPSプロセスの基本構成図